Ένας κατασκευαστής οπτικών εξαρτημάτων υψηλής τεχνολογίας αντιμετώπιζε δυσκολίες με τα ποσοστά απόδοσης κατά τη διάρκεια της φάσης έκθεσης και θέρμανσης της κατασκευής μικροαντήτρων σε επίπεδο πλακιδίων.

• Αδιαμορφία ακτινοβολίας:Οι παραδοσιακοί λαμπτήρες υπεριώδους ακτινοβολίας απέτυχαν να παρέχουν ομοιόμορφη κατανομή του φωτός σε μεγάλες επιφάνειες υποστρώματος.

• Θερμική επέκταση:Η υπερβολική υπέρυθρη θερμότητα παραμόρφωσε λεπτές δομές υπομικρονικών φακών κατά τη διάρκεια της φωτολιθογραφίας και της επεξεργασίας.

Αντί των παραδοσιακών λαμπτήρων υδραργύρου ή των μεθόδων διάθεσης, χρησιμοποιήσαμεΣύστημα στεγνώσεως υπεριώδους φωτεινής ακτινοβολίας LED υψηλής ομοιότηταςειδικά σχεδιασμένα για οπτική επεξεργασία σε επίπεδο ημιαγωγών:

• Εκτίμηση της ρητίνης με επικάλυψη σπιν:Το σύστημα παρέχει έκθεση σε πλημμύρα σε όλη την επιφάνεια απευθείας στο στρώμα φωτοανθεκτικής/UV ρητίνης με επικάλυψη σπιν μέσω φωτομάσκας.

• Προχωρημένο οπτικό σχεδιασμό:Οι ειδικοί φακοί βελτιστοποιούν τη διανομή του φωτός, αποδίδοντας μια πρωτοποριακήομοιομορφία ακτινοβολίας εντός ± 3%σε όλη την περιοχή επεξεργασίας.

• Πραγματική κρύα πηγή φωτός:Λειτουργούν σε ακριβή365nm στενό φάσμαΤο σύστημα αποτρέπει την υπέρυθρη ακτινοβολία, διατηρώντας το υπόστρωμα σε θερμοκρασία δωματίου για την προστασία των μικροδομών από θερμικές παραμορφώσεις.

• Απαλή συνέπεια του προϊόντος:Τα ποσοστά απόρριψης που οφείλονται σε ελλείψεις στην κάλυψη των άκρων μειώθηκαν σεμηδέν, χάρη στο εξαιρετικά ομοιόμορφο πεδίο υπεριώδους φωτός.

• Υπομικρονική δομική ακεραιότητα:Η εξάλειψη της θερμικής πίεσης εξασφάλισε τέλεια σταθερότητα διαστάσεων για φακούς Fresnel υψηλής ακρίβειας.

• Βελτιωμένη αποδοτικότητα παραγωγής:Οι άμεσες δυνατότητες ενεργοποίησης / απενεργοποίησης UV LED εξαλείφουν τους χρόνους προθέρμανσης, μεγιστοποιώντας την απόδοση για τις γραμμές ημιαγωγών μεγάλου όγκου.

Επικοινωνήστε με τους μηχανικούς εφαρμογών μας για μια προσαρμοσμένη λύση UV LED.Η εταιρεία Shenzhen Super-curing Opto-Electronic CO., Ltd.Επικεφαλής